洁净室是“空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子,室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制”。由此可见,洁净室是特殊的房间,该房间内的空气悬浮粒子浓度、空气温度、湿度、压力等参数均需要控制,并且它应有减少粒子的诱入、产生及滞留之功效。这就需要通过良好的气流组织、行之有效的压差控制、符合工艺要求的洁净室形状及装修材料、娴熟的施工技术、科学的运行管理等...
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